技術(shù)介紹
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綁定優(yōu)勢(shì)
技術(shù)特點(diǎn)
生產(chǎn)規(guī)格
. 平面矩形靶材單片綁定長(zhǎng)度≤2m,背板不變形,不拉伸
. 平面圓片靶材最大綁定≤Φ650mm
. 可做硫化鉬、石墨、鐵氟龍等難綁靶材綁定
. 采用銦焊料焊接,結(jié)合率≥95%
. 靶材純度高3N-4N,燒結(jié)過(guò)程中不添加任何助劑
. 致密性高,可達(dá)到理論密度98%-99%,性能均一
. AZO粉體自制,粒徑微納米級(jí),原料穩(wěn)定性和批次性一致
. 靶材導(dǎo)電性能可根據(jù)客戶需求設(shè)計(jì)定制
. 導(dǎo)電精密陶瓷,100%自主研發(fā),高度匹配客戶,可按需定制
. 平面靶材:圓片≤Φ450mm;矩形≤410mm*320mm;厚度可定制
. 旋轉(zhuǎn)靶材:內(nèi)徑Φ45mm-Φ150mm;厚度可定制;單節(jié)長(zhǎng)度≤250mm
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